一、关键技术
在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗、去胶、刻蚀、涂层等目的。
二、主要技术指标
1. 等离子产生方式指标：中频 40KHz、射频 13.56MHz，功率 0600W 可调。
2. 等离子辉光产生条件：真空度 100Pa 以下；
3. 处理效果指标：清洗后水滴角≤10°，均匀性≤±5%。
所属行业：工业
所属领域：节能降碳
技术来源：国家绿色技术交易中心
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